Is tionscadal mór tógála de thionscal leictreonaice mo thír é Monarcha Ciorcaid Comhtháite Scála An-Mhór 909 Tionscadal le linn an Naoú Plean Cúig Bliana chun sliseanna a tháirgeadh le leithead líne 0.18 miocrón agus trastomhas 200 mm.
Ní hamháin go mbaineann teicneolaíocht déantúsaíochta ciorcaid chomhtháite an-mhór le teicneolaíochtaí ardchruinneas mar mhicrea-mheaisínithe, ach cuireann sé ceanglais ard ar íonacht gáis freisin.
Soláthraíonn comhfhiontar idir Praxair Utility Gas Co., Ltd. de na Stáit Aontaithe agus páirtithe ábhartha i Shanghai an mórsholáthar gáis do Thionscadal 909 chun gléasra táirgthe gáis a bhunú i gcomhpháirt. Tá an gléasra táirgthe gáis in aice leis an monarcha tionscadail 909. foirgneamh, a chlúdóidh réimse de thart ar 15,000 méadar cearnach. Riachtanais íonachta agus aschuir na ngás éagsúla
Déantar nítrigin ard-íonachta (PN2), nítrigin (N2), agus ocsaigin ard-íonachta (PO2) a tháirgeadh trí scaradh aeir. Déantar hidrigin ard-íonachta (PH2) a tháirgeadh trí leictrealú. Ceannaítear Argón (Ar) agus héiliam (He) go seachfhoinsithe. Déantar an gar-ghás a íonú agus a scagadh le húsáid i dTionscadal 909. Soláthraítear gás speisialta i mbuidéil, agus tá an comh-aireachta buidéal gáis suite i gceardlann cúnta an ghléasra táirgthe ciorcaid chomhtháite.
Áirítear ar gháis eile freisin córas CDA aer comhbhrúite tirim glan, le toirt úsáide de 4185m3/h, pointe drúcht brú de -70 ° C, agus méid cáithníní nach mó ná 0.01um sa ghás ag an bpointe úsáide. Córas aer comhbhrúite análaithe (BA), toirt úsáide 90m3/h, pointe drúcht brú 2 ℃, nach bhfuil méid na gcáithníní sa ghás ag an bpointe úsáide níos mó ná 0.3um, córas bhfolús próisis (PV), toirt úsáide 582m3/h, céim folúis ag an bpointe úsáide -79993Pa . Córas folúis glantacháin (HV), toirt úsáide 1440m3/h, céim fholús ag an bpointe úsáide -59995 Pa. Tá an seomra comhbhrúiteoir aeir agus an seomra folúschaidéil lonnaithe i limistéar mhonarcha 909 tionscadal.
Roghnú ábhar píopaí agus gabhálais
Tá ceanglais an-ard glaineachta ag an ngás a úsáidtear i dtáirgeadh VLSI.Píblínte gáis ard-íonachtaa úsáidtear de ghnáth i dtimpeallachtaí táirgthe glan, agus ba cheart go mbeadh a rialú glaineachta comhsheasmhach le nó níos airde ná leibhéal glaineachta an spáis atá in úsáid! Ina theannta sin, is minic a úsáidtear píblínte gáis ard-íonachta i dtimpeallachtaí táirgthe glan. Tá hidrigin íon (PH2), ocsaigin ard-íonachta (PO2) agus roinnt gáis speisialta inadhainte, pléascach, gáis a thacaíonn le dócháin nó le gáis tocsaineacha. Má tá an córas píblíne gáis deartha go míchuí nó má roghnaítear na hábhair go míchuí, ní hamháin go laghdóidh íonacht an gháis a úsáidtear ag an bpointe gáis, ach beidh sé theipeann freisin. Buaileann sé le ceanglais an phróisis, ach tá sé neamhshábháilte le húsáid agus cuirfidh sé truailliú ar an monarcha glan, rud a dhéanann difear do shábháilteacht agus glaineacht an mhonarcha ghlan.
Braitheann an ráthaíocht ar cháilíocht an gháis ard-íonachta ag an bpointe úsáide, ní hamháin ar chruinneas táirgeadh gáis, trealamh íonú agus scagairí, ach tá tionchar mór aige freisin ar go leor fachtóirí sa chóras píblíne. Má táimid ag brath ar threalamh táirgthe gáis, trealamh íonú agus scagairí Tá sé mícheart ceanglais bheachtais gan teorainn níos airde a fhorchur mar chúiteamh ar dhearadh córas píopaí gáis míchuí nó roghnú ábhar.
Le linn phróiseas deartha an tionscadail 909, leanamar an “Cód um Dhearadh Gléasraí Glana” GBJ73-84 (is é an caighdeán reatha (GB50073-2001)), “Cód um Dhearadh Stáisiúin Aeir Chomhbhrúite” GBJ29-90, “Cód do Dhearadh Stáisiúin Ocsaigin” GB50030-91 , “Cód chun Stáisiúin Hidrigin agus Ocsaigin a Dhearadh” GB50177-93, agus bearta teicniúla ábhartha chun ábhair agus gabhálais píblíne a roghnú. Ordaíonn an “Cód chun Gléasraí Glana a Dhearadh” roghnú na n-ábhar agus na gcomhlaí píblíne mar a leanas:
(1) Má tá íonacht an gháis níos mó ná nó cothrom le 99.999% agus go bhfuil an pointe drúcht níos ísle ná -76 ° C, píopa cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le balla istigh leictreaphlátáilte nó píopa cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) le ba chóir balla istigh electropolished a úsáid. Ba chóir go mbeadh an comhla ina comhla scairt nó comhla bellows.
(2) Má tá íonacht an gháis níos mó ná nó cothrom le 99.99% agus go bhfuil an pointe drúcht níos ísle ná -60 ° C, ba cheart feadán cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) le balla istigh leictreaphlátáilte a úsáid. Ach amháin i gcás comhlaí bellows ba chóir a úsáid le haghaidh píblínte gáis indóite, ba cheart comhlaí liathróid a úsáid le haghaidh píblínte gáis eile.
(3) Má tá an drúcht aer comhbhrúite tirim níos ísle ná -70 ° C, ba chóir píopa cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) le balla istigh snasta a úsáid. Má tá an pointe drúcht níos ísle ná -40 ℃, ba chóir píopa cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) nó píopa cruach gan uaim ghalbhánuithe te-tumtha a úsáid. Ba chóir go mbeadh an comhla ina chomhla bellows nó ina comhla liathróid.
(4) Ba cheart go mbeadh an t-ábhar comhla comhoiriúnach leis an ábhar píopa ceangail.
De réir riachtanais sonraíochtaí agus bearta teicniúla ábhartha, breithnímid go príomha ar na gnéithe seo a leanas nuair a bhíonn ábhair phíblíne á roghnú againn:
(1) Ba cheart go mbeadh tréscaoilteacht aer na n-ábhar píopa beag. Tá tréscaoilteacht aeir difriúil ag píopaí ábhair éagsúla. Má roghnaítear píopaí a bhfuil tréscaoilteacht aeir níos mó acu, ní féidir truailliú a bhaint. Is fearr píopaí cruach dhosmálta agus píopaí copair chun dul i bhfód agus creimeadh ocsaigine san atmaisféar a chosc. Mar sin féin, ós rud é nach bhfuil píopaí cruach dhosmálta chomh gníomhach ná píopaí copair, tá píopaí copair níos gníomhaí chun ligean don taise san atmaisféar dul isteach ina gcuid dromchlaí istigh. Dá bhrí sin, nuair a bhíonn píopaí á roghnú le haghaidh píblínte gáis ard-íonachta, ba cheart go mbeadh píopaí cruach dhosmálta mar an chéad rogha.
(2) Tá dromchla istigh an ábhair phíobáin adsorbed agus tá éifeacht bheag aige ar anailís a dhéanamh ar an ngás. Tar éis an píopa cruach dhosmálta a phróiseáil, coinneofar méid áirithe gáis ina laitís miotail. Nuair a théann gás ard-íonachta tríd, cuirfidh an chuid seo den ghás isteach sa sreabhadh aer agus cuirfidh sé faoi deara truailliú. Ag an am céanna, mar gheall ar asaithe agus anailís, déanfaidh an miotail ar dhromchla istigh an phíobáin méid áirithe púdar a tháirgeadh freisin, rud a fhágann truailliú ar an ngás ard-íonachta. Maidir le córais píopaí a bhfuil íonacht os cionn 99.999% nó leibhéal ppb, ba cheart píopa cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) a úsáid.
(3) Tá friotaíocht caitheamh píopaí cruach dhosmálta níos fearr ná friotaíocht píopaí copair, agus tá an deannach miotail a ghintear trí chreimeadh sreabhadh aeir sách níos lú. Is féidir le ceardlanna táirgeachta le ceanglais níos airde maidir le glaineacht úsáid a bhaint as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) nó píopaí cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304), ní úsáidfear píopaí copair.
(4) Le haghaidh córais phíobáin a bhfuil íonacht gáis acu os cionn 99.999 % nó ppb nó ppt, nó i seomraí glana a bhfuil leibhéil glaineachta an aeir acu de N1-N6 atá sonraithe sa “Chód um Dhearadh Monarchan Glan”, píopaí ultra-ghlana nóEP píopaí ultra-ghlanchóir a úsáid. Glan “feadán glan le dromchla istigh ultra-réidh”.
(5) Is gáis an-chreimneach iad cuid de na córais speisialta píblíne gáis a úsáidtear sa phróiseas táirgthe. Caithfidh na píopaí sna córais píblíne seo píopaí cruach dhosmálta atá resistant creimeadh a úsáid mar phíopaí. Seachas sin, déanfar damáiste do na píopaí mar gheall ar chreimeadh. Má tharlaíonn spotaí creimthe ar an dromchla, ní úsáidfear gnáthphíopaí cruach gan uaim nó píopaí cruach táthaithe ghalbhánuithe.
(6) I bprionsabal, ba cheart gach nasc píblíne gáis a tháthú. Ós rud é go scriosfaidh táthú píopaí cruach ghalbhánuithe an ciseal ghalbhánuithe, ní úsáidtear píopaí cruach ghalbhánuithe le haghaidh píopaí i seomraí glan.
Agus na fachtóirí thuas á gcur san áireamh, is iad seo a leanas na píopaí agus na comhlaí píblíne gáis a roghnaíodh sa tionscadal &7&:
Déantar na píopaí córais nítrigine ard-íonachta (PN2) de phíopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreaphlátáilte, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí bellow cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Déantar na píopaí córas nítrigine (N2) de phíopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreaphlátáilte, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí bellow cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá na píopaí córais hidrigine ard-íonachta (PH2) déanta as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreaphlátáilte, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí bellow cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá na píopaí córais ocsaigine ard-íonachta (PO2) déanta as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictrea-snasta, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí bellow cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Déantar píopaí córais Argón (Ar) de phíopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreaphlátáilte, agus úsáidtear comhlaí bellow cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá na píopaí córais héiliam (He) déanta as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreaphlátáilte, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí bellow cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá na píopaí córais aer comhbhrúite tirim glan (CDA) déanta as píopaí cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) le ballaí istigh snasta, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí bellows cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá na píopaí córais aer comhbhrúite análaithe (BA) déanta as píopaí cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) le ballaí istigh snasta, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí liathróid cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá na píopaí córais i bhfolús próisis (PV) déanta as píopaí UPVC, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí féileacán bhfolús déanta as an ábhar céanna.
Tá na píopaí córais folúis glantacháin (HV) déanta as píopaí UPVC, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí féileacán bhfolús déanta as an ábhar céanna.
Tá píopaí an chórais gháis speisialta go léir déanta as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreaphlátáilte, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí bellow cruach dhosmálta den ábhar céanna.
3 Tógáil agus suiteáil píblínte
3.1 Sonraíonn Alt 8.3 den “Chód um Dhearadh Foirgneamh Monarchan Glan” na forálacha seo a leanas maidir le naisc phíblíne:
(1) Ba cheart naisc phíobáin a tháthú, ach ba cheart píopaí cruach ghalbhánuithe te-tumtha a shnáithiú.Comhlíonfaidh ábhar séalaithe naisc snáithithe ceanglais Airteagal 8.3.3 den tsonraíocht seo
(2) Ba cheart píopaí cruach dhosmálta a nascadh le táthú stua argón agus táthú butt nó táthú soicéad, ach ba cheart píblínte gáis ard-íonachta a nascadh le táthú butt gan marcanna ar an mballa istigh.
(3) Ba cheart go gcomhlíonfadh an nasc idir píblínte agus trealamh ceanglais nasc an trealaimh. Nuair a úsáidtear naisc píobáin, ba cheart píobáin miotail a úsáid
(4) Ba cheart go gcomhlíonfadh an nasc idir píblínte agus comhlaí na rialacháin seo a leanas
① Ba cheart go n-úsáidfeadh an t-ábhar ina saothraítear rónta a nascann píblínte agus comhlaí gáis ard-íonachta gaiscéid miotail nó ferrules dúbailte de réir riachtanais an phróisis táirgthe agus na saintréithe gáis.
② Ba chóir go mbeadh polytetrafluoroethylene san ábhar ina saothraítear rónta ag an nasc snáithithe nó flange.
3.2 De réir riachtanais sonraíochtaí agus bearta teicniúla ábhartha, ba cheart nasc píblínte gáis ard-íonachta a tháthú a oiread agus is féidir. Ba cheart táthú butt díreach a sheachaint le linn táthú. Ba chóir sleeves píopa nó hailt críochnaithe a úsáid. Ba chóir go mbeadh na sleeves píopa déanta as an ábhar céanna agus réidh an dromchla istigh leis na píopaí. leibhéal, le linn táthú, d'fhonn ocsaídiú an chuid táthú a chosc, ba cheart gás cosanta íon a thabhairt isteach sa phíobán táthú. Maidir le píopaí cruach dhosmálta, ba cheart táthú stua argón a úsáid, agus ba cheart gás argón den íonacht chéanna a thabhairt isteach sa phíobán. Ní mór nasc snáithithe nó nasc snáithithe a úsáid. Agus flanges á nascadh, ba cheart ferrules a úsáid le haghaidh naisc snáithithe. Ach amháin i gcás píopaí ocsaigine agus píopaí hidrigine, ar chóir dóibh gaiscéid miotail a úsáid, ba cheart go n-úsáidfeadh píopaí eile gaiscéid polytetrafluoroethylene. Beidh sé éifeachtach freisin méid beag rubair silicone a chur i bhfeidhm ar na gaiscéid. Feabhas a chur ar éifeacht séalaithe. Ba cheart bearta den chineál céanna a ghlacadh nuair a dhéantar naisc flange.
Sula dtosaítear ar an obair suiteála, déanfar iniúchadh mionsonraithe ar na píopaí,feisteas, ní mór comhlaí, etc. a dhéanamh. Ba chóir balla istigh na ngnáthphíopaí cruach dhosmálta a phiocadh roimh shuiteáil. Ba cheart go gcuirfí cosc dian ar na píopaí, na feistis, na comhlaí, etc. de phíblínte ocsaigine ó ola, agus ba cheart iad a dhíreasú go docht de réir na gceanglas ábhartha sula ndéantar iad a shuiteáil.
Sula ndéantar an córas a shuiteáil agus a úsáid, ba cheart an córas píblíne tarchurtha agus dáileacháin a ghlanadh go hiomlán leis an ngás ard-íonachta seachadta. Séideann sé seo ní hamháin na cáithníní deannaigh a thit isteach sa chóras de thaisme le linn an phróisis suiteála, ach tá ról triomú aige freisin sa chóras píblíne, ag fáil réidh le cuid den ghás ina bhfuil taise a ghlacann an balla píopa agus fiú an t-ábhar píopa.
4. Tástáil brú píblíne agus glacadh
(1) Tar éis an córas a shuiteáil, déanfar iniúchadh radagrafaíochta 100% ar na píopaí a iompraíonn sreabháin an-tocsaineacha i bpíblínte gáis speisialta, agus ní bheidh a gcáilíocht níos ísle ná Leibhéal II. Beidh píopaí eile faoi réir iniúchta radagrafaíochta samplála, agus ní bheidh an cóimheas iniúchta samplála níos lú ná 5 %, ní bheidh an cháilíocht níos ísle ná grád III.
(2) Tar éis an t-iniúchadh neamh-millteach a rith, ba cheart tástáil brú a dhéanamh. D'fhonn triomacht agus glaineacht an chórais píopaí a áirithiú, ní gá tástáil brú hiodrálach a dhéanamh, ach ba cheart tástáil brú aeroibrithe a úsáid. Ba cheart an tástáil brú aeir a dhéanamh ag baint úsáide as nítrigin nó aer comhbhrúite a mheaitseáil le leibhéal glaineachta an tseomra glan. Ba cheart go mbeadh brú tástála an phíblíne 1.15 uair an brú deartha, agus ba cheart go mbeadh brú tástála an phíblíne folúis 0.2MPa. Le linn na tástála, ba cheart an brú a mhéadú de réir a chéile agus go mall. Nuair a ardóidh an brú go dtí 50% den bhrú tástála, mura bhfuarthas aon neamhghnáchaíocht nó sceitheadh, lean an brú céim ar chéim a mhéadú 10% den bhrú tástála, agus an brú a chobhsú ar feadh 3 nóiméad ag gach leibhéal go dtí an brú tástála. . Cobhsaigh an brú ar feadh 10 nóiméad, ansin an brú a laghdú go dtí an brú dearaidh. Ba cheart an t-am stad brú a chinneadh de réir riachtanais braite sceite. Tá an gníomhaire cúrála cáilithe mura bhfuil aon sceitheadh ann.
(3) Tar éis don chóras bhfolús pas a fháil sa tástáil brú, ba cheart freisin tástáil folús 24 uair an chloig a dhéanamh de réir na ndoiciméad dearaidh, agus níor cheart go mbeadh an ráta brú níos airde ná 5%.
(4) Tástáil sceitheadh. Maidir le córais píblíne grád ppb agus ppt, de réir na sonraíochtaí ábhartha, níor cheart aon sceitheadh a mheas mar cháilithe, ach úsáidtear an tástáil ar mhéid sceite le linn dearadh, is é sin, déantar an tástáil ar mhéid sceite tar éis na tástála aerdhíonachta. Is é an brú an brú oibre, agus stoptar an brú ar feadh 24 uair an chloig. Tá an meánsceitheadh in aghaidh na huaire níos lú ná nó cothrom le 50ppm mar atá cáilithe. Seo a leanas ríomh an sceite:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
San fhoirmle:
Sceitheadh uair an chloig (%)
P1-Brú iomlán ag tús na tástála (Pa)
P2-Brú iomlán ag deireadh na tástála (Pa)
T1-teocht iomlán ag tús na tástála (K)
T2-teocht iomlán ag deireadh na tástála (K)
Am postála: Dec-12-2023