Is tionscadal tógála mór de chuid thionscal leictreonaice mo thíre é Monarcha Ciorcad Comhtháite ar Scála An-Mhór Tionscadal 909 le linn an Naoú Plean Cúig Bliana chun sceallóga a tháirgeadh le leithead líne 0.18 micrón agus trastomhas 200 mm.
Ní hamháin go mbíonn teicneolaíochtaí ardchruinnis amhail micrea-mheaisiú i gceist le teicneolaíocht déantúsaíochta ciorcad comhtháite ar scála an-mhór, ach cuireann sí ceanglais arda maidir le híonacht gáis freisin.
Cuirtear an soláthar mórchóir gáis ar fáil do Thionscadal 909 trí chomhfhiontar idir Praxair Utility Gas Co., Ltd. sna Stáit Aontaithe agus páirtithe ábhartha i Shanghai chun gléasra táirgthe gáis a bhunú i gcomhpháirt. Tá an gléasra táirgthe gáis suite in aice le foirgneamh monarchan thionscadal 909, agus clúdaíonn sé achar de thart ar 15,000 méadar cearnach. Íonacht agus riachtanais aschuir gás éagsúil
Déantar nítrigin ardíonachta (PN2), nítrigin (N2), agus ocsaigin ardíonachta (PO2) a tháirgeadh trí dheighilt san aer. Déantar hidrigin ardíonachta (PH2) a tháirgeadh trí leictrealú. Ceannaítear argón (Ar) agus héiliam (He) ó fhoinsí seachtracha. Déantar an cuasi-ghás a íonú agus a scagadh lena úsáid i dTionscadal 909. Soláthraítear gás speisialta i mbuidéil, agus tá an caibinéad buidéal gáis suite i gceardlann chúnta an ghléasra táirgthe ciorcad comhtháite.
I measc na ngás eile tá córas CDA aeir chomhbhrúite glan tirim, le toirt úsáide de 4185m3/u, pointe drúchta brú de -70°C, agus méid cáithníní nach mó ná 0.01um sa ghás ag an bpointe úsáide. Córas aeir chomhbhrúite análaithe (BA), toirt úsáide 90m3/u, pointe drúchta brú 2℃, méid cáithníní sa ghás ag an bpointe úsáide nach mó ná 0.3um, córas folúis phróisis (PV), toirt úsáide 582m3/u, céim folúis ag an bpointe úsáide -79993Pa. Córas folúis glantacháin (HV), toirt úsáide 1440m3/u, céim folúis ag an bpointe úsáide -59995 Pa. Tá an seomra comhbhrúiteora aeir agus an seomra caidéil folúis suite i limistéar monarchan tionscadail 909.
Roghnú ábhar agus gabhálais píopaí
Tá ceanglais ghlantachta thar a bheith ard ag baint leis an ngás a úsáidtear i dtáirgeadh VLSI.Píblínte gáis ard-íonachtade ghnáth úsáidtear iad i dtimpeallachtaí táirgthe glana, agus ba cheart go mbeadh a rialú glaineachta comhsheasmhach le nó níos airde ná leibhéal glaineachta an spáis atá in úsáid! Ina theannta sin, is minic a úsáidtear píblínte gáis ard-íonachta i dtimpeallachtaí táirgthe glana. Is gáis inadhainte, pléascacha, dócháin-thacaíochta nó tocsaineacha iad hidrigin íon (PH2), ocsaigin ard-íonachta (PO2) agus roinnt gás speisialta. Mura ndéantar an córas píblíne gáis a dhearadh go cuí nó mura roghnaítear na hábhair go cuí, ní hamháin go laghdóidh íonacht an gháis a úsáidtear ag an bpointe gáis, ach teipfidh air freisin. Comhlíonann sé na ceanglais phróisis, ach níl sé sábháilte a úsáid agus cuirfidh sé truailliú ar an monarcha ghlan, rud a théann i bhfeidhm ar shábháilteacht agus ar ghlanacht na monarchan glan.
Ní hamháin go mbraitheann ráthaíocht cháilíochta gáis ard-íonachta ag an bpointe úsáide ar chruinneas an táirgthe gáis, an trealaimh íonúcháin agus na scagairí, ach bíonn tionchar mór ag go leor fachtóirí sa chóras píblíne air freisin. Má táimid ag brath ar threalamh táirgthe gáis, trealamh íonúcháin agus scagairí, níl sé ceart ceanglais bheachtais i bhfad níos airde a fhorchur chun cúiteamh a dhéanamh as dearadh nó roghnú ábhar míchuí córais píopaí gáis.
Le linn phróiseas deartha thionscadal 909, leanamar “Cód um Dhearadh Gléasraí Glana” GBJ73-84 (is é (GB50073-2001) an caighdeán reatha), “Cód um Dhearadh Stáisiún Aeir Chomhbhrúite” GBJ29-90, “Cód um Dhearadh Stáisiún Ocsaigine” GB50030-91, “Cód um Dhearadh Stáisiún Hidrigine agus Ocsaigine” GB50177-93, agus bearta teicniúla ábhartha maidir le hábhair agus gabhálais píblíne a roghnú. Forálann “Cód um Dhearadh Gléasraí Glana” roghnú ábhar agus comhlaí píblíne mar seo a leanas:
(1) Más mó ná nó cothrom le 99.999% íonacht an gháis agus más ísle ná -76°C an pointe drúchta, ba chóir píopa cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le balla istigh leictreaphnasta nó píopa cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) le balla istigh leictreaphnasta a úsáid. Ba chóir go mbeadh an comhla ina comhla scairt nó ina comhla builg.
(2) Más mó ná nó cothrom le 99.99% íonacht an gháis agus más ísle ná -60°C an pointe drúchta, ba chóir feadán cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) le balla istigh leictreapholaithe a úsáid. Ach amháin i gcás comhlaí builg atá le húsáid le haghaidh píblínte gáis inadhainte, ba chóir comhlaí liathróide a úsáid le haghaidh píblínte gáis eile.
(3) Más ísle ná -70°C pointe drúchta an aeir chomhbhrúite thirim, ba chóir píopa cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) le balla istigh snasta a úsáid. Más ísle ná -40℃ pointe drúchta, ba chóir píopa cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) nó píopa cruach gan uaim ghalbhánuithe tumtha te a úsáid. Ba chóir go mbeadh an comhla ina comhla builg nó ina comhla liathróide.
(4) Ba chóir go mbeadh ábhar na comhla comhoiriúnach le hábhar na píopa ceangail.
De réir riachtanais na sonraíochtaí agus na mbeart teicniúil ábhartha, breithnímid na gnéithe seo a leanas den chuid is mó agus ábhair phíblíne á roghnú againn:
(1) Ba chóir go mbeadh tréscaoilteacht aeir ábhair na bpíopaí beag. Bíonn tréscaoilteacht aeir éagsúil ag píopaí d’ábhair éagsúla. Má roghnaítear píopaí a bhfuil tréscaoilteacht aeir níos mó acu, ní féidir truailliú a bhaint. Tá píopaí cruach dhosmálta agus píopaí copair níos fearr chun cosc a chur ar threá agus creimeadh ocsaigine san atmaisféar. Mar sin féin, ós rud é go bhfuil píopaí cruach dhosmálta níos lú gníomhach ná píopaí copair, bíonn píopaí copair níos gníomhaí chun ligean do thaise san atmaisféar dul isteach ina ndromchlaí istigh. Dá bhrí sin, agus píopaí á roghnú le haghaidh píblínte gáis ard-íonachta, ba chóir gurb iad píopaí cruach dhosmálta an chéad rogha.
(2) Déantar dromchla istigh ábhar na píopa a ionsú agus bíonn tionchar beag aige ar anailís an gháis. Tar éis an phíopa cruach dhosmálta a phróiseáil, coinneofar méid áirithe gáis ina laitís miotail. Nuair a théann gás ard-íonachta tríd, rachaidh an chuid seo den ghás isteach sa sreabhadh aeir agus cuirfidh sé truailliú faoi deara. Ag an am céanna, mar gheall ar ionsú agus anailís, cuirfidh an miotal ar dhromchla istigh na píopa méid áirithe púdair ar fáil freisin, rud a chuirfidh truailliú ar an ngás ard-íonachta. I gcás córais píopaí a bhfuil íonacht os cionn 99.999% nó leibhéal ppb acu, ba cheart píopa cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) a úsáid.
(3) Tá friotaíocht caitheamh píopaí cruach dhosmálta níos fearr ná friotaíocht píopaí copair, agus tá an deannach miotail a ghintear trí chreimeadh sreabhadh aeir réasúnta níos lú. Is féidir le ceardlanna táirgthe a bhfuil riachtanais níos airde acu maidir le glaineacht píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) nó píopaí cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) a úsáid, níor cheart píopaí copair a úsáid.
(4) I gcás córais phíobáin a bhfuil íonacht gháis os cionn 99.999% nó leibhéil ppb nó ppt acu, nó i seomraí glana a bhfuil leibhéil glantachta aeir N1-N6 acu atá sonraithe sa “Chód Dearaidh Monarcha Glan”, píopaí thar a bheith glana nóPíopaí ultra-ghlana EPba chóir a úsáid. Glan “feadán glan le dromchla istigh thar a bheith réidh”.
(5) Is gáis an-chreimneacha iad cuid de na córais phíblíne gáis speisialta a úsáidtear sa phróiseas táirgthe. Caithfidh na píopaí sna córais phíblíne seo píopaí cruach dhosmálta atá frithsheasmhach in aghaidh creimeadh a úsáid mar phíopaí. Seachas sin, déanfar damáiste do na píopaí mar gheall ar chreimeadh. Mura dtarlaíonn spotaí creimeadh ar an dromchla, níor cheart píopaí cruach gan uaim gnáth ná píopaí cruach táthaithe ghalbhánuithe a úsáid.
(6) I bprionsabal, ba chóir gach nasc píblíne gáis a tháthú. Ós rud é go scriosfaidh táthú píopaí cruach ghalbhánuithe an ciseal ghalbhánuithe, ní úsáidtear píopaí cruach ghalbhánuithe le haghaidh píopaí i seomraí glana.
Agus na tosca thuas á gcur san áireamh, is iad seo a leanas na píopaí agus na comhlaí píblíne gáis a roghnaíodh sa tionscadal &7&:
Tá píopaí an chórais nítrigine ard-íonachta (PN2) déanta as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreapholaithe, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí builg cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá píopaí an chórais nítrigine (N2) déanta as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreapholaithe, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí builg cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá píopaí an chórais hidrigine ard-íonachta (PH2) déanta as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreapholaithe, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí builg cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá píopaí an chórais ocsaigine ard-íonachta (PO2) déanta as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictrea-snasta, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí builg cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá píopaí córais argóin (Ar) déanta as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreapholaithe, agus úsáidtear comhlaí builg cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá píopaí an chórais héiliam (He) déanta as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreapholaithe, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí builg cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá píopaí an chórais aeir chomhbhrúite glan tirim (CDA) déanta as píopaí cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) le ballaí istigh snasta, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí builg cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá píopaí an chórais aeir chomhbhrúite análaithe (BA) déanta as píopaí cruach dhosmálta OCr18Ni9 (304) le ballaí istigh snasta, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí liathróide cruach dhosmálta den ábhar céanna.
Tá píopaí an chórais folúis phróisis (PV) déanta as píopaí UPVC, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí féileacán folúis atá déanta as an ábhar céanna.
Tá píopaí an chórais ghlantacháin folúis (HV) déanta as píopaí UPVC, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí féileacán folúis atá déanta as an ábhar céanna.
Tá píopaí an chórais gáis speisialta uile déanta as píopaí cruach dhosmálta ísealcharbóin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) le ballaí istigh leictreapholaithe, agus tá na comhlaí déanta as comhlaí builg cruach dhosmálta den ábhar céanna.
3 Tógáil agus suiteáil píblínte
3.1 Foráiltear na forálacha seo a leanas maidir le naisc phíblíne i Roinn 8.3 den “Chód Dearaidh Foirgneamh Monarcha Glan”:
(1) Ba chóir naisc phíobáin a bheith táthaithe, ach ba chóir píopaí cruach ghalbhánuithe tumtha te a bheith snáithithe. Caithfidh ábhar séalaithe na naisc snáithithe cloí le ceanglais Airteagal 8.3.3 den tsonraíocht seo.
(2) Ba chóir píopaí cruach dhosmálta a cheangal le táthú stua argóin agus táthú butt nó táthú soicéad, ach ba chóir píblínte gáis ard-íonachta a cheangal le táthú butt gan marcanna ar an mballa istigh.
(3) Ba chóir go mbeadh an nasc idir píblínte agus trealamh i gcomhréir le ceanglais nasctha an trealaimh. Agus naisc píobáin á n-úsáid, ba chóir píobáin miotail a úsáid.
(4) Ba chóir go mbeadh na rialacháin seo a leanas i bhfeidhm maidir leis an nasc idir píblínte agus comhlaí
① Ba cheart go n-úsáidfí gaiscéid miotail nó ferrules dúbailte san ábhar séalaithe a nascann píblínte agus comhlaí gáis ard-íonachta de réir riachtanais an phróisis táirgthe agus tréithe an gháis.
②Ba chóir go mbeadh an t-ábhar séalaithe ag an nasc snáithithe nó flanse ina pholateitreafluaireitiléin.
3.2 De réir cheanglais na sonraíochtaí agus na mbeart teicniúil ábhartha, ba cheart píblínte gáis ard-íonachta a tháthú a oiread agus is féidir. Ba cheart táthú díreach butt a sheachaint le linn an táthú. Ba cheart muinchillí píopa nó hailt chríochnaithe a úsáid. Ba cheart na muinchillí píopa a dhéanamh den ábhar céanna agus an dromchla istigh réidh leis na píopaí. Le linn an táthú, chun ocsaídiú na coda táthúcháin a chosc, ba cheart gás cosanta íon a thabhairt isteach sa phíopa táthúcháin. I gcás píopaí cruach dhosmálta, ba cheart táthú stua argóin a úsáid, agus ba cheart gás argóin den íonacht chéanna a thabhairt isteach sa phíopa. Ní mór nasc snáithithe nó nasc snáithithe a úsáid. Agus flanges á nascadh, ba cheart ferrules a úsáid le haghaidh naisc snáithithe. Ach amháin i gcás píopaí ocsaigine agus píopaí hidrigine, ar cheart gaiscéid miotail a úsáid, ba cheart gaiscéid pholateitreafluaireitiléine a úsáid i bpíopaí eile. Beidh méid beag rubair silicone a chur i bhfeidhm ar na gaiscéid éifeachtach freisin. Feabhsaíonn sé an éifeacht séalaithe. Ba cheart bearta comhchosúla a dhéanamh agus naisc flange á ndéanamh.
Sula dtosaíonn an obair suiteála, déantar iniúchadh amhairc mionsonraithe ar na píopaí,feistis, ní mór comhlaí, srl. a dhéanamh. Ba chóir balla istigh na bpíobán cruach dhosmálta gnáth a phicilte roimh an suiteáil. Ba chóir cosc dian a chur ar ola píopaí, feistis, comhlaí, srl. de phíblínte ocsaigine, agus ba chóir iad a dhíghrádú go docht de réir na gceanglas ábhartha roimh an suiteáil.
Sula ndéantar an córas a shuiteáil agus a chur in úsáid, ba cheart an córas píblíne tarchurtha agus dáilte a ghlanadh go hiomlán leis an ngás ard-íonachta a sheachadtar. Ní hamháin go séideann sé seo na cáithníní deannaigh a thit isteach sa chóras de thaisme le linn an phróisis suiteála, ach imríonn sé ról triomúcháin sa chóras píblíne freisin, ag baint cuid den ghás ina bhfuil taise a ionsúnn balla na píopa agus fiú ábhar na píopa.
4. Tástáil brú píblíne agus glacadh leis
(1) Tar éis an córas a shuiteáil, déanfar cigireacht radaighrafach 100% ar na píopaí a iompraíonn sreabháin an-tocsaineacha i bpíblínte gáis speisialta, agus ní bheidh a gcáilíocht níos ísle ná Leibhéal II. Déanfar cigireacht radaighrafach samplála ar phíopaí eile, agus ní bheidh an cóimheas cigireachta samplála níos lú ná 5%, ní bheidh an cháilíocht níos ísle ná grád III.
(2) Tar éis an chigireacht neamh-millteach a rith, ba cheart tástáil brú a dhéanamh. Chun tirim agus glantacht an chórais phíopaí a chinntiú, ní mór tástáil brú hiodrálach a dhéanamh, ach ba cheart tástáil brú aeroibrithe a úsáid. Ba cheart an tástáil brú aeir a dhéanamh ag baint úsáide as nítrigin nó aer comhbhrúite a mheaitseálann leibhéal glantachta an tseomra ghlan. Ba cheart go mbeadh brú tástála an phíblíne 1.15 oiread an bhrú dearaidh, agus ba cheart go mbeadh brú tástála an phíblíne folúis 0.2MPa. Le linn na tástála, ba cheart an brú a mhéadú de réir a chéile agus go mall. Nuair a ardaíonn an brú go 50% den bhrú tástála, mura bhfuarthas aon neamhghnáchaíocht nó sceitheadh, lean ort ag méadú an bhrú céim ar chéim faoi 10% den bhrú tástála, agus cobhsaigh an brú ar feadh 3 nóiméad ag gach leibhéal go dtí go sroichtear an brú tástála. Cobhsaigh an brú ar feadh 10 nóiméad, ansin laghdaigh an brú go dtí an brú dearaidh. Ba cheart an t-am stad brú a chinneadh de réir riachtanais an bhrath sceite. Tá an gníomhaire cúrtha cáilithe mura bhfuil aon sceitheadh ann.
(3) Tar éis don chóras folúis an tástáil brú a rith, ba cheart dó tástáil céime folúis 24 uair an chloig a dhéanamh freisin de réir na ndoiciméad dearaidh, agus níor cheart go mbeadh an ráta brú níos mó ná 5%.
(4) Tástáil sceite. I gcás córas píblíne grád ppb agus ppt, de réir na sonraíochtaí ábhartha, níor cheart aon sceitheadh a mheas mar sceitheadh cáilithe, ach úsáidtear an tástáil méid sceite le linn an deartha, is é sin, déantar an tástáil méid sceite tar éis an tástála aerdhíonachta. Is é an brú an brú oibre, agus stopann an brú ar feadh 24 uair an chloig. Tá an meán-sceitheadh uair an chloig níos lú ná nó cothrom le 50ppm de réir mar atá cáilithe. Seo a leanas ríomh an sceite:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Sa fhoirmle:
Sceitheadh uair an chloig (%)
P1-Brú absalóideach ag tús na tástála (Pa)
P2-Brú absalóideach ag deireadh na tástála (Pa)
T1 - teocht absalóideach ag tús na tástála (K)
T2 - teocht absalóideach ag deireadh na tástála (K)
Am an phoist: 12 Nollaig 2023